Библиотека Интернет Индустрии I2R.ru |
|||
|
Магический кристалл для нанотехнолога20.03.2002 03:30 Уменьшить размеры процессора и увеличить его быстродействие можно, лишь уменьшая размеры элементов микросхемы. Этого можно добиться двумя способами - делая слои микросхемы все тоньше и тоньше или прочерчивая линии все уже и уже. На этом пути достигнуты большие успехи - у процессоров с частотой более 2ГГц, которые выпускаются компаниями Intel и AMD, характерный размер равен 130 нм. А дальше возникает естественная преграда - закон природы, по которому разрешение не может быть меньше половины длины волны источника излучения. Отсюда и очевидное решение проблемы - попытаться уменьшить саму длину волны с ныне используемых 248 нм до 193 нм и соответственно увеличить разрешение. Увы, эта часть спектра уже относится к дальнему ультрафиолету. Для оптической нанолитографии, когда изображение фокусируют и уменьшают с помощью линзы, обычное кварцевое стекло не годится - для ультрафиолета стекло непрозрачно. Оно поглощает излучение, нагревается и разрушается. Материал, который прозрачен для ультрафиолета с длиной волны менее 200 нм и достаточно устойчив к разрушению, есть. Это монокристаллы фторидов кальция или бария. Но вот качество их должно быть высочайшим: во-первых, они должны быть оптически гомогенны, а во-вторых, не иметь микродефектов - потому что иначе линзы просто потрескаются в мощном лазерном пучке. Кроме того, они должны быть достаточно большими - диаметром не меньше 300 мм. Такие монокристаллы делать очень трудно. До сих пор монополистами в этой области были западные компании - в основном швейцарская Zeiss, которая, разумеется, ни с кем секретами технологии не делилась. Однако недавно выращивать кристаллы фторидов для нанолитографии научились и ученые из Санкт-Петербурга, работающие в Государственном оптическом институте им. Вавилова (ГОИ) и Научно-технологическом институте оптического материаловедения. Они создали соответствующую автоматизированную установку. Про свой метод исследователи из Питера тоже много не рассказывают - материаловеды вообще не любят делиться тайнами рецептов, они их предпочитают патентовать. По мнению директора ГОИ профессора Валерия Арбузова, главная заслуга авторов - это выбор сырья и определение тонкостей температурного режима процесса: с какой скоростью и при какой температуре следует выращивать монокристаллический слиток из расплава. В результате питерские ученые научились выращивать монокристаллы фторидов кальция и бария, удовлетворяющие самым строгим требованиям нанолитографии - высокой оптической гомогенности, низкому поглощению при длине волны 193 нм и минимальному внутреннему напряжению. Значит, благодаря питерским ученым теперь и в России можно сделать линзы из превосходных монокристаллов, пропускающих глубокий ультрафиолет. Ольга Максименко последние новости 26.10.2006 19:04 | Вышла бета-версия инструментария Microsoft Atlas...» 25.10.2006 18:22 | Роботы, которые делают сайты. Новое в сайтостроении...» 25.10.2006 14:38 | Mozilla гордится безопасностью и быстродействием Firefox 2...» 24.10.2006 20:41 | Google предлагает настраиваемый поиск...» 24.10.2006 18:16 | Компания IT-Online и учебный центр Микроинформ провели первый совместный семинар на тему "Поисковая оптимизация и интернет-статистика"...» 24.10.2006 16:28 | Коммуникационная поддержка бизнеса: реклама и pr в сети Интернет...» 23.10.2006 12:40 | MySpace: объединение социальных сетей невозможно...» 22.10.2006 19:28 | Adobe: Internet-приложения без Internet...» 22.10.2006 19:24 | Opera 9.1 проверит сайты на благонадежность...» 21.10.2006 16:06 | Дыра в IE 7 на самом деле содержится вовсе не в браузере...» 20.10.2006 15:20 | Социальные сети собираются внедрить психографический таргетинг...» 20.10.2006 14:43 | W3C приструнит мошенников...» 19.10.2006 20:47 | Google предлагает «оптимизатор сайтов» для рекламодателей...» 19.10.2006 18:18 | 20 методов сортировки результатов поиска...» 19.10.2006 17:20 | Cобственные иконки в Adobe Photoshop...» 19.10.2006 14:56 | PHP 5.1. Учебный курс...» 19.10.2006 13:48 | Бесплатный Page Promoter Bar 3.0: мгновенный анализ поисковой выдачи...» 18.10.2006 21:18 | Круглый стол «Инновационные бизнес-модели в интернете. От идеи до реализации»....» 18.10.2006 20:54 | Yahoo обновляет инструменты для электронного бизнеса...» 17.10.2006 18:44 | Яндекс заплатит ученым за интернет-математику...» |
|
2000-2008 г. Все авторские права соблюдены. |
|