Чистота – залог прогресса
22.05.2002 13:09
Группа исследователей из Университета штата Аризона работает над созданием экологически-чистой технологией производства чипов.
Сегодня при производстве микросхем кремниевые подложки подвергаются целому ряду операций травления и химического осаждения из паровой (газовой) фазы. Между этими операциями их извлекают из вакуумной камеры и очищают при помощи сверхчистой воды или других растворителей. Изучив процесс очистки на молекулярном уровне, ученые разработали технологию очистки в газовой фазе. При ее использовании подложки смогут оставаться в камере между всеми стадиями осаждения. Для очистки используется углекислый газ (двуокись углерода) в надкритическом состоянии (промежуточном между газом и жидкостью). По утверждениям разработчиков, новая технология наносит гораздо меньший урон окружающей среде, поскольку углекислота нетоксична и может "работать" в замкнутом цикле. Для ее очистки перед повторным использованием достаточно сбросить давление -- полугаз-полужидкость превратится в настоящий газ, и весь «мусор» просто выпадет в осадок.
Ученые из Аризоны планируют создать экологически-чистые альтернативы и для других операций, причем изготовленные с их применением полупроводниковые компоненты будут более совершенны, чем нынешние.
EE Times
последние новости
08.11.2006 12:16 | Бесплатный семинар по анализу, продвижению и управлению ресурсом...»
04.11.2006 17:50 | Создатель интернета: "Web грозит коллапс"...»
03.11.2006 15:01 | IT-Online - официальный спонсор конференции iDate2006 - Europe...»
02.11.2006 00:26 | Александр Садовский держит ответ перед оптимизаторами...»
02.11.2006 00:11 | 14 ноября - День Юзабилити в России...»
01.11.2006 23:37 | Оптимизатор создал SEO – поиск...»
01.11.2006 21:15 | Обзор Всероссийской онлайн-конференция «Интернет в регионах РФ: шаг вперед, два назад?..»...»
01.11.2006 20:46 | Сообщество «Для разработчиков» от Софт@Mail.Ru...»
01.11.2006 15:50 | Вышел номер журнала AboutPC №1 (104)...»
01.11.2006 12:39 | Продукты Corel будут оптимизированы под Vista...»
31.10.2006 15:43 | Запущен тест Интернет-Аналитика...»
31.10.2006 14:15 | Google отменила ограничение на индексацию страниц с id в URL...»
30.10.2006 21:20 | Adobe Systems представила новые продукты в России...»
30.10.2006 20:27 | Vox - блогосервис нового поколения...»
27.10.2006 20:29 | Web 2.0 служит катализатором в «плавке» Oracle...»
27.10.2006 19:46 | "Нейрон" - сервис сетевых закладок...»
27.10.2006 18:57 | "Планета" в кармане...»
27.10.2006 18:36 | Google признал Украину...»
27.10.2006 18:29 | "Суп" рассказал интернетчикам о судьбе русского LiveJournal...»
27.10.2006 17:29 | Капитализация Google зашкалила...»
|
|