Библиотека Интернет Индустрии I2R.ru |
|||
|
Магический кристалл для нанотехнолога20.03.2002 03:30 Уменьшить размеры процессора и увеличить его быстродействие можно, лишь уменьшая размеры элементов микросхемы. Этого можно добиться двумя способами - делая слои микросхемы все тоньше и тоньше или прочерчивая линии все уже и уже. На этом пути достигнуты большие успехи - у процессоров с частотой более 2ГГц, которые выпускаются компаниями Intel и AMD, характерный размер равен 130 нм. А дальше возникает естественная преграда - закон природы, по которому разрешение не может быть меньше половины длины волны источника излучения. Отсюда и очевидное решение проблемы - попытаться уменьшить саму длину волны с ныне используемых 248 нм до 193 нм и соответственно увеличить разрешение. Увы, эта часть спектра уже относится к дальнему ультрафиолету. Для оптической нанолитографии, когда изображение фокусируют и уменьшают с помощью линзы, обычное кварцевое стекло не годится - для ультрафиолета стекло непрозрачно. Оно поглощает излучение, нагревается и разрушается. Материал, который прозрачен для ультрафиолета с длиной волны менее 200 нм и достаточно устойчив к разрушению, есть. Это монокристаллы фторидов кальция или бария. Но вот качество их должно быть высочайшим: во-первых, они должны быть оптически гомогенны, а во-вторых, не иметь микродефектов - потому что иначе линзы просто потрескаются в мощном лазерном пучке. Кроме того, они должны быть достаточно большими - диаметром не меньше 300 мм. Такие монокристаллы делать очень трудно. До сих пор монополистами в этой области были западные компании - в основном швейцарская Zeiss, которая, разумеется, ни с кем секретами технологии не делилась. Однако недавно выращивать кристаллы фторидов для нанолитографии научились и ученые из Санкт-Петербурга, работающие в Государственном оптическом институте им. Вавилова (ГОИ) и Научно-технологическом институте оптического материаловедения. Они создали соответствующую автоматизированную установку. Про свой метод исследователи из Питера тоже много не рассказывают - материаловеды вообще не любят делиться тайнами рецептов, они их предпочитают патентовать. По мнению директора ГОИ профессора Валерия Арбузова, главная заслуга авторов - это выбор сырья и определение тонкостей температурного режима процесса: с какой скоростью и при какой температуре следует выращивать монокристаллический слиток из расплава. В результате питерские ученые научились выращивать монокристаллы фторидов кальция и бария, удовлетворяющие самым строгим требованиям нанолитографии - высокой оптической гомогенности, низкому поглощению при длине волны 193 нм и минимальному внутреннему напряжению. Значит, благодаря питерским ученым теперь и в России можно сделать линзы из превосходных монокристаллов, пропускающих глубокий ультрафиолет. Ольга Максименко последние новости 20.03.2002 06:52 | Виртуальные гонки в России...» 20.03.2002 06:14 | Новая линейка принтеров Lexmark из 6 моделей...» 20.03.2002 06:07 | В США перепись населения проведут при помощи КПК, а в России - при помощи свистков...» 20.03.2002 05:49 | "Повременки" в Москве не будет точно ...» 20.03.2002 05:45 | Essential Reality собирается выпустить свою "компьютерную перчатку" в третьем квартале 2002...» 20.03.2002 05:41 | Саундтрек к Тетрису в стиле "техно" ...» 20.03.2002 04:43 | Европа все-таки будет создавать систему спутниковой навигации, альтернативную GPS...» 20.03.2002 04:33 | Черная полоса "Зебры Телеком" или Оказывается, реклама не всегда полезна...» 20.03.2002 04:18 | В хакерских атаках чаще всего используются серверы стран Тихоокеанского региона...» 20.03.2002 03:30 | Магический кристалл для нанотехнолога ...» 20.03.2002 02:46 | Хакер похитил важную информацию из компьютеров Технологического института штата Джорджия...» 20.03.2002 02:28 | Hitachi и Mitsubishi объединяют производство полупроводников...» 20.03.2002 01:23 | "Вести" вышли в Интернет...» 19.03.2002 23:30 | Цифровая подпись на базе XML проходит утверждение...» 19.03.2002 17:19 | Интернет все меньше поражает воображение американцев...» 19.03.2002 17:16 | Microsoft проигрывает дело против компании-разработчика операционной системы Lindows...» 19.03.2002 17:07 | "4G" уже на горизонте...» 19.03.2002 15:48 | Компьютерной мыши исполнилось 50 лет...» 19.03.2002 15:30 | OSN создает новую философию интернет-бизнеса...» 19.03.2002 15:27 | Пятое пришествие Лары Крофт...» |
|
2000-2008 г. Все авторские права соблюдены. |
|